High temperature XRD and XRR studies on atomic layer deposited niobium oxide - silicon oxide nanolaminates

Heikkilä, M. (Puhuja)

Aktiviteetti: Puhe- tai esitystyypitSuullinen esitys

Aikajakso27 kesäkuuta 2019
Tapahtuman otsikkoJoint EuroCVD 22 - Baltic ALD 16 meeting
Tapahtuman tyyppiKonferenssi
SijaintiLuxemburg, Luxemburg
Tunnustuksen arvoKansainvälinen