Properties of ALD grown Al2O3-TiO2 laminates investigated by high temperature XRD/XRR and in situ wafer curvature measurements

Heikkilä, M. (Puhuja)

Aktiviteetti: Puhe- tai esitystyypitSuullinen esitys

Aikajakso17 syyskuuta 201820 syyskuuta 2018
Tapahtuman otsikko2018 E-MRS Fall Meeting and Exhibit
Tapahtuman tyyppiKonferenssi
SijaintiVarsova, Puola
Tunnustuksen arvoKansainvälinen