Referee of PhD thesis

Ritala, M. (Esitarkastaja)

Aktiviteetti: TutkimustyypitVäitöskirjan esitarkastaja

Kuvaus

Title of thesis: Development of low-temperature deposition processes by atomic layer deposition for binary and ternary oxide thin films
Aikajakso2002 → …
TutkittavaMatti Putkonen
Tutkimuksen ajankohtaHelsinki University of Technology