Tutkimustuotoksia vuodessa
Tutkimustuotoksia vuodessa
Hakutulokset
-
2016
Atomic Layer Deposition of Metal Phosphates and Lithium Silicates
Hamalainen, J., Holopainen, J., Hatanpaa, T., Ritala, M. & Leskela, M., 19 huhtik. 2016, Patenttinumero US9315894 B2, 19 huhtik. 2016Tutkimustuotos: Patentti
-
2013
Synthesis and Application for tellurium and selenium ald precursor film
Pore, V., Hatanpää, T. T., Ritala, M. & Leskelä, M., 25 jouluk. 2013, IPC-nro C23C16/06, H01L21/205, C23C16/44, C23C16/16, Patenttinumero CN 102076882 B, 23 huhtik. 2009, Prioriteetin päiväys 25 huhtik. 2008Tutkimustuotos: Patentti
-
2010
Synthesis and Use of Precursors for ALD of Tellurium and Selenium Thin Films.
Pore, V., Hatanpää, T. T., Ritala, M. & Leskelä, M., 14 tammik. 2010, IPC-nro C23C 16/455, Patenttinumero 2010/0009078 A1Tutkimustuotos: Patentti
-
2002
Process for producing metal thin films by ALD
Aaltonen, T., Alén , P., Ritala, M. & Leskelä, M., 2002, IPC-nro B05D/512, Patenttinumero 6824816 , 30 marrask. 2004Tutkimustuotos: Patentti