Tutkimustuotoksia vuodessa
Tutkimustuotoksia vuodessa
Henkilökohtainen profiili
Tieteenalat
- 116 Kemia
Yhteistyöt ja huippututkimusalueet viimeisiltä viideltä vuodelta
Viimeisin maa-/aluetasolla toteutettu yhteistyö. Saat tarkempia lisätietoja pisteitä napauttamalla, tai
-
Ambient pressure x-ray photoelectron spectroscopy study on the initial atomic layer deposition process of platinum
Kokkonen, E., Nieminen, H.-E., Rehman, F., Miikkulainen, V., Putkonen, M., Ritala, M., Huotari, S., Schnadt, J. & Urpelainen, S., jouluk. 2024, julkaisussa: Journal of Vacuum Science Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 42, 6, 8 Sivumäärä, 062406.Tutkimustuotos: Artikkelijulkaisu › Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto -
Reaction mechanism studies on atomic layer deposition processes
Nieminen, H.-E., 2024, Helsinki: Helsingin yliopisto. 94 SivumääräTutkimustuotos: Opinnäyte › Väitöskirja › Artikkelikokoelma
Open access -
In vacuo cluster tool for studying reaction mechanisms in atomic layer deposition and atomic layer etching processes
Nieminen, H.-E., Chundak, M., Heikkila, M. J., Karkkainen, P. R., Vehkamaki, M., Putkonen, M. & Ritala, M., maalisk. 2023, julkaisussa: Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 41, 2, 11 Sivumäärä, 022401.Tutkimustuotos: Artikkelijulkaisu › Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto -
In vacuo studies on reaction mechanisms in ALD processes of ruthenium and platinum films
Nieminen, H., Putkonen, M. & Ritala, M., 25 marrask. 2023, julkaisussa: Applied Surface Science. 648, 10 Sivumäärä, 159015.Tutkimustuotos: Artikkelijulkaisu › Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto -
Reductive Thermal Atomic Layer Deposition Process for Gold
Vihervaara, A., Hatanpää, T., Nieminen, H., Mizohata, K., Chundak, M. & Ritala, M., toukok. 2023, julkaisussa: ACS materials Au. 3, 3, s. 206-214 9 SivumääräTutkimustuotos: Artikkelijulkaisu › Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto
Palkinnot
-
ALD 2023 Best Oral Presentation Finalist
Nieminen, H. (Vastaanottaja), 24 heinäk. 2023
Palkinto: Palkinnot ja kunnianosoitukset
Aktiviteetit
- 2 Suullinen esitys
-
Reaction mechanism studies on ALD processes of Pt and Ru
Nieminen, H. (Puhuja)
24 heinäk. 2023Aktiviteetti: Puhe- tai esitystyypit › Suullinen esitys
-
In vacuo cluster tool for studying the reaction mechanisms in ALD and ALE processes
Nieminen, H. (Puhuja)
28 kesäk. 2022Aktiviteetti: Puhe- tai esitystyypit › Suullinen esitys