Ei valokuvaa: Juha Aaltonen
  • PL 64 (Gustaf Hällströmin katu 2)

    00014

    Suomi

20052013
Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Julkaisut 2005 2013

  • 16 Konferenssiartikkeli
  • 8 Artikkeli

Nondestructive Inspection of Buried Channels and Cavities in Silicon

Kassamakov, I., Grigoras, K., Heikkinen, V., Hanhijarvi, K., Aaltonen, J., Franssila, S. & Haeggstrom, E., huhtikuuta 2013, julkaisussa : IEEE Journal of Microelectromechanical Systems. 22, 2, s. 438-442 5 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Through-Silicon Stroboscopic Characterization of an Oscillating MEMS Thermal Actuator Using Supercontinuum Interferometry

Hanhijarvi, K., Kassamakov, I., Aaltonen, J., Heikkinen, V., Sainiemi, L., Franssila, S. & Haeggstrom, E., elokuuta 2013, julkaisussa : IEEE - ASME Transactions on Mechatronics. 18, 4, s. 1418-1420 3 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

3D IMAGING INSIDE DISCHARGING MICROFLUIDIC CHANNEL USING SCANNING WHITE LIGHT INTERFEROMETRY

Heikkinen, V., Ylitalo, T. J., Nolvi, A., Hanhijärvi, K., Aaltonen, J. P., Kassamakov, I. V. & Haeggström, E., 2012, Physics Days: The 46th annual meeting of the Finnish Physical Society, proceedings. Joensuu, s. 112 1 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinen

CHARACTERIZING MULTILAYER PRINTED DRUGS WITH SWLI

Ylitalo, T. J., Ehlers, H., Nolvi, A., Heikkinen, V., Aaltonen, J. P., Kassamakov, I. V., Sandler, N. & Haeggström, E., 2012, Physics Days: The 46th annual meeting of the Finnish Physical Society, proceedings. Joensuu, s. 142 1 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinen

IR-SWLI for subsurface imaging of large MEMS structures

Nolvi, A., Heikkinen, V., Kassamakov, I. V., Aaltonen, J. P., Ylitalo, T. J., Saresoja, O. A., Berdova, M., Franssila, S. & Haeggström, E., 26 huhtikuuta 2012, Optical Micro- and Nanometrology IV: Optical Micro- and Nanometrology IV. SPIE, s. 843018 (Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering; Vuosikerta 8430).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu