Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Henkilökohtainen profiili

Keywords

  • 116 Kemia

Kansainvälinen ja kotimainen yhteistyö Publications and projects within past five years.

Julkaisut 2017 2019

Atomic Layer Deposition of Intermetallic Co3Sn2 and Ni3Sn2 Thin Films

Väyrynen, K., Hatanpää, T., Mattinen, M., Mizohata, K., Meinander, K., Räisänen, J., Link, J., Stern, R., Ritala, M. & Leskela, M., helmikuuta 2019, julkaisussa : Advanced Materials Interfaces . 6, 3, 7 Sivumäärä, 1801291.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Nickel Germanide Thin Films by Atomic Layer Deposition

Väyrynen, K. M., Vihervaara, A. J., Hatanpää, T. T., Mattinen, M. J., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Räisänen, J. A., Ritala, M. K. & Leskelä, M. A., 3 toukokuuta 2019, (Jätetty) julkaisussa : Chemistry of Materials.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

(Invited) Photo-Assisted ALD: Process Development and Application Perspectives

Miikkulainen, V., Väyrynen, K., Kilpi, V., Han, Z., Vehkamäki, M., Mizohata, K., Räisänen, J. & Ritala, M., 2017, julkaisussa : ECS transactions. 80, 3, s. 49-60 12 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto