Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Julkaisut 1994 2019

Suodatin
Konferenssiartikkeli
2018

Study of the influence of the dielectric composition of Al/Ti/ZrO2:Al2O3/TiN/Si/Al structures on the resistive switching behavior for memory applications

Castán, H., Dueñas, S., Kukli, K., Kemell, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 2018, julkaisussa : ECS transactions. 85, 8, s. 143-148 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2017

Admittance memory cycles of Ta2O5-ZrO2-based RRAM devices

Duenas, S., Castan, H., Ossorio, O. G., Dominguez, L. A., Gracia, H., Kalam, K., Kukli, K., Ritala, M. & Leskelä, M., 2017, 2017 32ND CONFERENCE ON DESIGN OF CIRCUITS AND INTEGRATED SYSTEMS (DCIS). IEEE, 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic layer deposited protective layers

Leskelä, M., Salmi, E. & Ritala, M., 2017, julkaisussa : Materials Science Forum. 879, s. 1086-1092 7 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2016

Integration of atomic layer deposited nanolaminates on silicon waveguides (Conference Presentation)

Autere, A., Karvonen, L., Säynätjoki, A., Roussey, M., Roenn, J., Färm, E., Kemell, M., Tu, X., Liow, T-Y., Lo, P., Ritala, M., Leskelä, M., Lipsanen, H., Honkanen, S. & Sun, Z., 2016, Silicon Photonics and Photonic Integrated Circuits V, proceedings. Pavesi, L., Vivien, L. & Pelli, S. (toim.). Brussels: SPIE, Vuosikerta 9891. 98910

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2015

High-quality slot waveguide ring resonator based on atomic layer deposition

Autere, A., Karvonen, L., Saynatjoki, A., Roussey, M., Färm, E., Kemell, M., Tu, X., Liow, T. Y., Lo, G. Q., Ritala, M., Leskelä, M., Honkanen, S. & Sun, Z., 2015, SILICON PHOTONICS X . Reed, GT. & Watts, MR. (toim.). SPIE, 7 Sivumäärä 93671J. (Proceedings of SPIE ; Vuosikerta 9367 ).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinen

Resistless fabrication of embedded nanochannels by FIB patterning, wet etching and atomic layer deposition

Han, Z., Vehkamäki, M. J., Leskelä, M. & Ritala, M. K., 2015, Proceedings of the 15th IEEE International Conference on Nanotechnology. IEEE, s. 1008-1011 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
2014

Heteroleptic Precursors for Atomic Layer Deposition

Niinisto, J., Blanquart, T., Seppala, S., Ritala, M. & Leskela, M., 2014, Atomic Layer Deposition Applications 10. Roozeboom, F., DeGendt, S., Delabie, A., Elam, JW., Londergan, A. & VanDerStraten, O. (toim.). ELECTROCHEMICAL SOC INC, s. 221-232 12 Sivumäärä (ECS Transactions; Vuosikerta 64, nro 9).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Single-parameter model for the post-breakdown conduction characteristics of HoTiOx-based MIM capacitors

Blasco, J., Castan, H., Garcia, H., Duenas, S., Sune, J., Kemell, M., Kukli, K., Ritala, M., Leskelä, M. & Miranda, E., 2014, julkaisussa : Microelectronics Reliability. 54, 9-10, s. 1707-1711 5 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2012

Selective oxidation of glucuronic acid into glucaric acid

Rautiainen, S., Chen, J., Niemelä, K., Repo, T. & Leskelä, M., elokuuta 2012, IIS 2012 Heidelberg, Germany, September 09-13, 2012: Scientific Program and Book of Abstracts.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinen

Single-step preparation of 2-methyltetrahydrofuran from birch

Riekkola, T., Leskelä, M. & Repo, T., 2012, Program and Book of Abstracts of the International IUPAC Conference on Green Chemistry. Vuosikerta 2012. s. 319 1 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinen

2011

Atomic Layer Deposition of GeTe

Sarnet, T., Pore, V., Hatanpää, T., Ritala, M., Leskelä, M., Schrott, A., Zhu, Y., Raoux, S. & Cheng, H-Y., 2011, European\Phase Change and Ovonics Symposium 2011 Proceedings. s. 210-211 2 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinen

Avaliação morfológica e dinâmico-mecânica de mixturas de PP/PA6 polímeros biodegradáveis como compatibilizantes.

de Paula Amantes, B., Vuorinen, S. E., Grafova, I., Leskelä, M., Grafov, A. & Vieira Marques, M. D. F., lokakuuta 2011, Congresso Brasileiro de Polímeros, CBPol. Associação Brasileira de Polímeros

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

CatOX lignin: Fresh material for lignin applications

Riekkola, T. M., Asikkala, J., Wrigstedt, P. J., Hakola, M. K., Tamminen, T., Ohra-aho, T., Argyropoulos, D., Sipilä, A. J., Leskelä, M. A. & Repo, T. J., 2011,  241st ACS National Meeting & Exposition, Abstracts of Papers. Anaheim, California: American Chemical Society, Vuosikerta 241. 1 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Compatibilização de nanocompósitos de polipropileno e argila com polímeros biodegradáveis.

Oliveira Aguiar, V., Vuorinen, S. E., Grafova, I., Leskelä, M., Grafov, A. & Vieira Marques, M. D. F., lokakuuta 2011, 11 Congresso Brasileiro de Polímeros. Associação Brasileira de Polímeros

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Evaluation of biodegradable polymers as compatibilizers for PP/PA6 blend

de Paula Amantes, B., Vieira Marques, M. D. F., Vuorinen, S., Grafova, I., Leskelä, M. & Grafov, A., lokakuuta 2011, X Brazilian MRS Meeting 2011. Brasilia: Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

HTXRD study of atomic layer deposited noble metal thin films heat treated in oxygen

Heikkilä, M. J., Hämäläinen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 2011, julkaisussa : Zeitschrift für Kristallographie Proceedings. 2011, 1, s. 209-214 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Microimaging of curauá fibre, the emerging biopolymer for ceramic oxide film growth by Atomic Layer Deposition (ALD)

Grafova, I., Kemell, M. L., do Nascimento Lunz, J., Leskelä, M., Grafov, A. & Vieira Marques, M. D. F., lokakuuta 2011, 11 Congresso Brasileiro de Polímeros. Campos do Jordao (SP): Associação Brasileira de Polímeros, Vuosikerta 11 CBPol.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Preparação e caracterização de nanocompósitos de polypropylene com hydrotalcita modificada.

Grafov, A., Vieira Marques, M. D. F., Leskelä, M., Grafova, I., Oliveira Aguiar, V. & da Silva Araujo, R., lokakuuta 2011, Congresso Brasileiro de Polímeros, CBPol. Associação Brasileira de Polímeros, Vuosikerta 11 .

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Reducing stiction in Microelectromechanical Systems by nanometer-scale films grown by atomic layer deposition

Puurunen, R., Haara, A., Ritala, H., Dekker, J., Kainlauri, M., Pohjonen, H., Suni, T., Kiihamäki, J., Santala, E., Leskelä, M. & Kattelus, H., 2011, Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (TRANSDUCERS), 2011 16th International . Beijing, s. 1887-1890 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2010

Charge trapping memories with atomic layer deposited high-k dielectrics capping layers

Nikolaou, N., Dimitrakis, P., Normand, P., Giannakopoulos, K., Mergia, K., Ioannou-Sougleridis, V., Kukli, K., Niinistö, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 2010, julkaisussa : Materials Research Society Symposia Proceedings. 1250, s. 1250-G07-03 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

pH electrode based on ALD deposited iridium oxide: Proc. Eurosensors XXIV, September 5–8, 2010, Linz, Austria

Ryynänen, T., Nurminen, K., Hämäläinen, J., Leskelä, M. & Lekkala, J., 2010, julkaisussa : Procedia Engineering. 5, s. 548-551 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Properties of HfO2 and HfO2:Y Films Grown by Atomic Layer Deposition in an Advanced Monocyclopentadienyl-based Process

Tamm, A., Kukli, K., Niinistö, J., Lu, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 2010, julkaisussa : IOP Conference Series: Materials Science and Engineering . 8, 1, s. 012022 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Vapor-Phase Self-Assembled Monolayers for Improved MEMS Reliability

Rissanen, A., Tuppura, K., Laamanen, M., Puurunen, R., Färm, E., Ritala, M. & Leskelä, M., 2010, IEEE SENSORS 2010 Conference. s. 767-700 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2009

Atomic Layer Deposition of Germanium Antimony Telluride Thin Films

Ritala, M., Pore, V., Hatanpää, T., Heikkilä, M., Leskelä, M., Schrott, A., Raoux, S. & Rossnagel, S. M., 2009, Proceedings: European/Phase Change and Ovonics Symposium, 6th-8th Septemberg, 2009 in Aachen, Germany / hosted by Dr. Martin Salinga and Prof.Dr. Matthias Wuttig. s. 151-156 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Characterization of TlBr for X-ray and γ-ray detector applications

Kostamo, P., Shorohov, M., Gostilo, V., Sipilä, H., Kozlov, V., Lisitsky, I. S., Kouznetsov, M. S., Lankinen, A., Danilewsky, A. N., Lipsanen, H. & Leskelä, M., 2009, julkaisussa : Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors, and Associated Equipment. 607, s. 129-131 3 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Electrical characterization of high-k based MIS capacitors using flat-band voltage transients

García, H., Dueñas, S., Castán, H., Gómez, A., Bailón, L., Hatanpää, T., Aarik, J., Aidla, A., Ritala, M. & Leskelä, M., 2009, Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices. IEEE, s. 223-226

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Electrical characterization of ZrO2-based MIS structures with highly doped Si substrates

Gómez, A., Dueñas, S., Castán, H., García, H., Bailón, L., Kukli, K., Niinistö, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 2009, Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices. IEEE, s. 227-230 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Improvements and problems of Bridgman-Stockbarger method for fabrication of TIBr single crystal detectors

Kozlov, V., Andersson, H., Gostilo, V., Kemell, M., Kostamo, P., Kouznetsov, M. S., Leskelä, M., Lipsanen, H., Lisitsky, I. S., Shorohov, M. & Sipilä, H., 2009, julkaisussa : Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors, and Associated Equipment. 607, 1, s. 126-128 3 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

LigniVal: Added Value to Lignin

Tamminen, T., Leskelä, M., Argyropoulos, D., Viikari, S., Kolppo, K., Wiiför, S., Poppius-Levlin, K., Fernyhough, A. & Lucia, L., 2009, Science & Technology of Biomasses: Advances and Challenges. s. 121-124

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Study of Atomic Layer Deposited Zirconium Oxide Thin Films by Using Mono-Cyclopentadienyl Based Precursors

Castán, H., Dueñas, S., García, H., Gómez, A., Bailón, L., Kukli, K., Niinistö, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 2009, Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices. IEEE, s. 8-11 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2008

Catalytic Pre-treatment of Lignocellulosic Raw Materials

Lahtinen, P., Weymarn, N. V., Lankinen, E., Repo, T., Leskelä, M., Kallioinen, A., Uusitalo, J., Siika-aho, M. & Tamminen, T., 2008, 10th European Workshop on Lignocellulosics and Pulp. s. 16-19

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Improved process for the T1Br single-crystal detector

Kozlov, V., Andersson, H., Gostilo, V., Leskelä, M., Owens, A., Shorohov, M. & Sipilä, H., 2008, julkaisussa : Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors, and Associated Equipment. 591, 1, s. 209-212 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Novel Zirconium Precursors for Atomic Layer Deposition of ZrO2 Films

Chen, T., Cameron, T. M., Nguyen, S. D., Stauf, G. T., Peters, D. W., Maylott, L., Li, W., Xu, C., Roeder, J. F., Hendrix, B. C., Hilgarth, M., Niinistö, J., Kukli, K., Ritala, M. & Leskelä, M., 2008, julkaisussa : ECS transactions. 16, 4, s. 87-101

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2007

Atomic layer deposition in nanotechnology applications

Leskelä, M., Kemell, M., Lautala, M., Pilvi, T., Pore, V., Santala, E. & Ritala, M., 2007, Abstracts of Papers: 234th ACS National Meeting. American Chemical Society, s. INOR-413

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Degradation effects in TlBr single crystals under prolonged bias voltage

Kozlov, V., Kemell, M., Vehkamäki, M. & Leskelä, M., 2007, julkaisussa : Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors, and Associated Equipment. 576, s. 10-14 5 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Effects of metallisation on T1Br single crystals for detector applications

Kozlov, V., Leskelä, M., Vehkamäki, M. & Sipilä, H., 2007, julkaisussa : Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors, and Associated Equipment. 573, 1-2, s. 212-215 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Electrical Characterization of High-k Dielectrics by Means of Flat-Band Voltage Transient Recording

Dueñas, S., Castán, H., Garcia, H., Bailón, L., Kukli, K., Ritala, M. & Leskelä, M., 2007, julkaisussa : Materials Research Society Symposia Proceedings. 996E, s. 169 -174 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Photocatalytic nanofibers and nanotubes made by atomic layer deposition.

Leskelä, M., Kemell, M., Pore, V., Santala, E. & Ritala, M., 2007, Abstracts of Papers, 233rd ACS National Meeting. s. INOR-028

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Study of Atomic Layer Deposited Gadolinium Oxide Thin Films on Silicon

Dueñas, S., Castán, H., Garcia, H., Gómez, A., Bailón, L., Kukli, K., Hatanpää, T., Lu, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 2007, julkaisussa : Materials Research Society Symposia Proceedings. 996, s. 133-138 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2006

Disordered Structure and Density of Gap States in High-Permittivity Thin Solid Films

Kukli, K., Dueñas, S., Castán, H., Garcia, H., Barbolla, J., Aarik, J., Aidla, A., Ritala, M. & Leskelä, M., 2006, Defects in High-k Gate Dielectric Stacks: Nano-Electronic Semiconductor Devices. Gusev, E. (toim.). Springer, s. 123-134 12 Sivumäärä (NATO Science Series II. Mathematics, Physcis and Chemistry; Vuosikerta 220).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Effects of polishing and etching on TlBr single crystals

Kozlov, V., Leskelä, M., Kemell, M. & Sipilä, H., 2006, julkaisussa : Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors, and Associated Equipment. 563, 1, s. 58-61 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Electrical Defects in Atomic Layer Deposited HfO2 Films on Silicon: Influence of Precursor Chemistries and Substrate Treatment

Dueñas, S., Castán, H., Garcia, H., Bailón, L., Kukli, K., Ritala, M. & Leskelä, M., 2006, NATO Science Series II : Mathematics, Physics and Chemistry . Vuosikerta 220. s. 287-298

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Improved Process for the Detector Grade TlBr Single Crystals

Kozlov, V., Andersson, H., Leskelä, M. & Sipila, H., 2006, 2006 IEEE NUCLEAR SCIENCE SYMPOSIUM CONFERENCE RECORD. s. 3705-3707 3 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2005

A comparative study of atomic layer deposited advanced high-k dielectrics

Dueñas, S., Castán, H., García, H., Barbolla, J., Kukli, K., Aarik, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 2005, 2005 Spanish Conference on Electron Devices. Institute of Electrical and Electronics Engineers, s. 29-32 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Annealing and characterisation of TlBr crystals for detector applications

Kozlov, V., Leskela, M. & Sipila, H., 2005, julkaisussa : Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors, and Associated Equipment. 546, 1-2, s. 200-204 5 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of Metal Thin Films

Leskelä, M., Aaltonen, T., Hämäläinen, J., Niskanen, A. J. & Ritala, M. K., 2005, julkaisussa : Proceedings - Electrochemical Society. 9, s. 545-554

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of Molybdenum Nitride Films

Alen, P., Ritala, M. & Leskelä, M., 2005, Advanced Metallization Conference 2004 (AMC 2004). Erb, D. (toim.). Materials Research Society, s. 763-768 6 Sivumäärä (MRS Conference Proceedings Series; Vuosikerta 20).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of Noble Metals

Aaltonen, T., Ritala, M. & Leskelä, M., 2005, Proceedings of Advanced Metallization Conference 2004. Erb, D., Ramm, P., Masu, K. & Osaki, A. (toim.). Warrensdale, PA: Materials Research Society, s. 663-667 5 Sivumäärä (MRS Conference Proceedings Series; Vuosikerta 20).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Electrical characterization of atomic-layer-deposited hafnium silicate for alternative gate dielectric application

Dueñas, S., Castán, H., García, H., Barbolla, J., Kukli, K., Ritala, M. & Leskelä, M., 2005, 2005 Spanish Conference on Electron Devices: Proceedings. Institute of Electrical and Electronics Engineers, s. 45-48 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2004

Atomic Layer Deposition - an Alternative to the Deposition of Optical Coatings?

Ritala, M. & Leskelä, M., 2004, Technical Digest of 9th Optical Interference Coatings Meeting . Tucson , s. art no MB1 3 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu