Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Julkaisut 1994 2019

Suodatin
Patentti
2016

Atomic layer deposition of aluminum fluoride thin films

Mäntymäki, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 19 heinäkuuta 2016, Patenttinumero US 9,394,609 B2, 19 heinäkuuta 2016

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

Atomic Layer Deposition of Metal Phosphates and Lithium Silicates

Hamalainen, J., Holopainen, J., Hatanpaa, T., Ritala, M. & Leskela, M., 19 huhtikuuta 2016, Patenttinumero US9315894 B2, 19 huhtikuuta 2016

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

Vapor deposition of LiF thin films

Mäntymäki, M., Hämäläinen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 5 heinäkuuta 2016, Patenttinumero US 9,382,615 B2, 5 heinäkuuta 2016

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

2014

Metal oxide films

Rahtu, A. H., Matero, R., Leskelä, M., Ritala, M., Hatanpää, T. T., Hänninen, T. P. & Vehkamäki, M., 1 huhtikuuta 2014, IPC-nro C30B21/02, Patenttinumero US8685165 B2, 1 huhtikuuta 2014

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

2013

Methods for Forming Thin Films Comprising Tellurium

Pore, V., Hatanpää, T. T., Ritala, M. & Leskelä, M., 12 helmikuuta 2013, IPC-nro C23C16/06 , Patenttinumero US8372483 (B2)

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

PROCESSO DE PREPARAÇÃO DE MATERIAL NANOHÍBRIDO, COMPOSIÇÃO FARMACÊUTICA E USO

Grafov, A., Grafova, I., Ramos Franco Pereira, A. M. & Leskelä, M., 2013, Patenttinumero BR 10 2013 029618 0

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

Synthesis and Application for tellurium and selenium ald precursor film

Pore, V., Hatanpää, T. T., Ritala, M. & Leskelä, M., 25 joulukuuta 2013, IPC-nro C23C16/06, H01L21/205, C23C16/44, C23C16/16, Patenttinumero CN 102076882 B, 23 huhtikuuta 2009, Prioriteetin päiväys 25 huhtikuuta 2008

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

2010

Synthesis and Use of Precursors for ALD of Tellurium and Selenium Thin Films.

Pore, V., Hatanpää, T. T., Ritala, M. & Leskelä, M., 14 tammikuuta 2010, IPC-nro C23C 16/455, Patenttinumero 2010/0009078 A1

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

Uudet epäorgaaniset-bio-orgaaniset nanokomposiittimateriaalit, niiden valmistus ja käyttö

Grafov, A. & Leskelä, M., 11 marraskuuta 2010, IPC-nro C01F 7/00, Patenttinumero 20095502

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

2009

Menetelmä hiilihydraattipitoisen raaka-aineen prosessoimiseksi

Lahtinen, P., Kallioinen, A., Siika-aho, M., Suurnäkki, A., Tamminen, T., Uusitalo, J., Repo, T., Leskelä, M. & von Weymarn, N., 15 maaliskuuta 2009, IPC-nro C13K 1/02 C12N 1/22 C12P 7/10 C12P 7/54 C12P 7/56 , Patenttinumero 120878, 15 huhtikuuta 2010

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

Method of depositing rare earth oxide thin films

Niinistö, J., Putkonen, M., Ritala, M., Räisänen, P., Niskanen, A. & Leskelä, M., 5 helmikuuta 2009, IPC-nro H01L 21/44, Patenttinumero 7498272, 3 maaliskuuta 2009

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

Methods for Forming of Conductive Titanium Oxides Thin Films

Pore, V., Ritala, M. & Leskelä, M., 3 joulukuuta 2009, IPC-nro BOSD 5/12 , Patenttinumero 2009/0297696 A1

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

2007

Mouldable, Biodegradable Material

Leskelä, M., Pärssinen, A. T., Lahtinen, P., Salo, J. & Repo, T., 30 maaliskuuta 2007, IPC-nro C08G 63/08 A61L 27/58 , Patenttinumero 121883, 24 maaliskuuta 2011

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

Process for Producing Oxide Films

Hatanpää, T. T., Vehkamäki, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 28 kesäkuuta 2007, IPC-nro C23C 16/06, Patenttinumero US 7713584 , 11 toukokuuta 2010

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

2005

Process for Producing Bismuth-Containing Oxide Films

Leskelä, M., Vehkamäki, M., Hatanpää, T. T. & Ritala, M., 28 huhtikuuta 2005, IPC-nro C23C16/00 C23C16/40 C23C16/06 , Patenttinumero 7618681 , 17 marraskuuta 2009

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

2003

Method of Depositing Rare Earth Oxide Thin Films

Niinistö, J., Putkonen, M., Ritala, M., Räisänen, P., Niskanen, A. & Leskelä, M., 13 huhtikuuta 2003, IPC-nro H01L021/44; H01L021/31; H01L021/469, Patenttinumero 6858546, 22 helmikuuta 2005

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

2002

Method to Make Nitride Thin Films

Leskelä, M., Ritala, M., Alen, P. J. & Juppo, M., 2002, IPC-nro C30B/2814, Patenttinumero 6706115, 16 maaliskuuta 2004

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

2000

Menetelmä eristävien oksidiohutkalvojen valmistamiseksi

Leskelä, M., Ritala, M., Hatanpää, T., Hänninen, T. & Vehkamäki, M., 2000, IPC-nro H01L 39/24 , Patenttinumero 108375 , 15 tammikuuta 2002

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

Method for growing thin oxide films

Leskelä, M., Ritala, M., Kukli, K. & Rahtu, A. H., 2000, IPC-nro C30B 2514, Patenttinumero 6632279 , 14 lokakuuta 2003

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen

1999

Method for Coating Inner Surfaces of Equipment

Leskelä, M., Ritala, M. & Suntola, T., 1999, IPC-nro C30B/2502; C30B/3500; C23C/1600, Patenttinumero 6416577, 9 heinäkuuta 2002

Tutkimustuotos: PatenttiTieteellinen