Ei valokuvaa Marko Vehkamäki

Marko Vehkamäki

  • PL 55 (A. I. Virtasen aukio 1)

    00014

    Suomi

19982020

Tutkimustuotoksia vuodessa

Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Julkaisut

Suodatin
Konferenssiartikkeli
2015

Resistless fabrication of embedded nanochannels by FIB patterning, wet etching and atomic layer deposition

Han, Z., Vehkamäki, M. J., Leskelä, M. & Ritala, M. K., 2015, Proceedings of the 15th IEEE International Conference on Nanotechnology. IEEE, s. 1008-1011 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
2003

Alkaline earth cyclopentadienyl compounds as precursors for atomic layer deposition

Hatanpää, T., Hänninen, T., Ihanus, J., Kansikas, J., Mutikainen, I., Vehkamäki, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 2003, Chemical vapor deposition XVI and EUROCVD 14: proceedings of the international symposium. Allendorf, M. D., Maury, F. & Teyssandier, F. (toim.). Pennington, NJ : The Electrochemical Society , Vuosikerta 2003-08. s. 516-522 7 Sivumäärä (Electrochemical Society Proceedings ).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2000

Atomic layer deposition of high-k oxides

Ritala, M., Kukli, K., Vehkamäki, M., Hänninen, T., Hatanpää, T. T., Leskelä, M. & Räisänen, P. I., 2000, Proceedings - Electrochemical Society: CVD XV. The Electrochemical Society , Vuosikerta 2000-13. s. 597-604 8 Sivumäärä (Electrochemical Society Proceedings).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu