Ei valokuvaa: Mikko Heikkilä
  • PL 55 (A. I. Virtasen aukio 1)

    00014

    Suomi

20062019
Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Henkilökohtainen profiili

Tieteenalat

  • 116 Kemia

Kansainvälinen ja kotimainen yhteistyö Viimeisin maatasolla toteutettu yhteistyö. Saat syvempiä lisätietoja pisteitä napsauttamalla.

Julkaisut 2006 2019

  • 70 Artikkeli
  • 4 Konferenssiartikkeli
  • 1 Katsausartikkeli

Atomic Layer Deposition of Nickel Nitride Thin Films using NiCl2(TMPDA) and Tert‐Butylhydrazine as Precursors

Väyrynen, K., Hatanpää, T., Mattinen, M., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Räisänen, J., Link, J., Stern, R., Ritala, M. & Leskelä, M., kesäkuuta 2019, julkaisussa : Physica Status Solidi. A: Applications and Materials Science. 216, 11, s. 1900058 9 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of Photoconductive Cu2O Thin Films

Iivonen, T., Heikkilä, M. J., Popov, G., Nieminen, H-E., Kaipio, M., Kemell, M., Mattinen, M., Meinander, K., Mizohata, K., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., kesäkuuta 2019, julkaisussa : ACS Omega. 4, 6, s. 11205-11214 10 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Intercalation of Lithium Ions from Gaseous Precursors into beta-MnO2 Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition

Nieminen, H., Miikkulainen, V., Settipani, D., Simonelli, L., Hönicke, P., Zech, C., Kayser, Y., Beckhoff, B., Honkanen, A-P., Heikkilä, M., Mizohata, K., Meinander, N. K., Ylivaara, O. M. E., Huotari, S. & Ritala, M., 27 kesäkuuta 2019, julkaisussa : Journal of Physical Chemistry C. 123, 25, s. 15802-15814 13 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Nickel Germanide Thin Films by Atomic Layer Deposition

Väyrynen, K., Vihervaara, A., Hatanpää, T., Mattinen, M., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Raisanen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 23 heinäkuuta 2019, julkaisussa : Chemistry of Materials. 31, 14, s. 5314-5319 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Solid-State Conversion of Scandium Phosphate into Scandium Oxide with Sodium Compounds

Yagmurlu, B., Zhang, W., Heikkilä, M., Koivula, R. & Friedrich, B., 14 elokuuta 2019, julkaisussa : Industrial & Engineering Chemistry Research. 58, 32, s. 14609-14620 12 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Aktiviteetit 2004 2018

  • 15 Konferensseihin, kursseille ja seminaareihin osallistuminen ja näiden järjestäminen
  • 1 Suullinen esitys

Properties of ALD grown Al2O3-TiO2 laminates investigated by high temperature XRD/XRR and in situ wafer curvature measurements

Mikko Heikkilä (Puhuja)
17 syyskuuta 201820 syyskuuta 2018

Aktiviteetti: Puhe- tai esitystyypitSuullinen esitys

Materials Characterization by the Combined Analysis

Mikko Heikkilä (Osallistuja)
26 marraskuuta 201830 marraskuuta 2018

Aktiviteetti: Tapahtumaan osallistumisen ja tapahtuman järjestämisen tyypitKonferensseihin, kursseille ja seminaareihin osallistuminen ja näiden järjestäminen

2017 E-MRS Fall Meeting and Exhibit

Mikko Heikkilä (Osallistuja)
18 syyskuuta 201721 syyskuuta 2017

Aktiviteetti: Tapahtumaan osallistumisen ja tapahtuman järjestämisen tyypitKonferensseihin, kursseille ja seminaareihin osallistuminen ja näiden järjestäminen

Synchrotron Radiation to Study Atomic Layer Deposition

Mikko Heikkilä (Puhuja: esitelmän pitäjä)
12 kesäkuuta 201615 kesäkuuta 2016

Aktiviteetti: Tapahtumaan osallistumisen ja tapahtuman järjestämisen tyypitKonferensseihin, kursseille ja seminaareihin osallistuminen ja näiden järjestäminen

The 12th International Baltic ALD conference

Mikko Heikkilä (Posteriesitys)
12 toukokuuta 201413 toukokuuta 2014

Aktiviteetti: Tapahtumaan osallistumisen ja tapahtuman järjestämisen tyypitKonferensseihin, kursseille ja seminaareihin osallistuminen ja näiden järjestäminen