Aktiviteetteja vuodessa
Aktiviteetit
- 2 tulosta
Hakutulokset
-
High temperature XRD and XRR studies on atomic layer deposited niobium oxide - silicon oxide nanolaminates
Heikkilä, M. (Puhuja)
27 kesäk. 2019Aktiviteetti: Puhe- tai esitystyypit › Suullinen esitys
-
Properties of ALD grown Al2O3-TiO2 laminates investigated by high temperature XRD/XRR and in situ wafer curvature measurements
Heikkilä, M. (Puhuja)
17 syysk. 2018 → 20 syysk. 2018Aktiviteetti: Puhe- tai esitystyypit › Suullinen esitys