Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Julkaisut 1991 2019

2019

Atomic layer deposition of cobalt(II) oxide thin films from Co(BTSA)(2)(THF) and H2O

Iivonen, T., Kaipio, M., Hatanpää, T., Mizohata, K., Meinander, K., Räisänen, J., Kim, J., Ritala, M. & Leskelä, M., tammikuuta 2019, julkaisussa : Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 37, 1, 12 Sivumäärä, 010908.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of Emerging 2D Semiconductors, HfS2 and ZrS2, for Optoelectronics

Mattinen, M., Popov, G., Vehkamäki, M., King, P., Mizohata, K., Jalkanen, P., Räisänen, J., Leskelä, M. & Ritala, M., 2 elokuuta 2019, julkaisussa : Chemistry of Materials. 31, 15, s. 5713-5724

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of Intermetallic Co3Sn2 and Ni3Sn2 Thin Films

Väyrynen, K., Hatanpää, T., Mattinen, M., Mizohata, K., Meinander, K., Räisänen, J., Link, J., Stern, R., Ritala, M. & Leskela, M., helmikuuta 2019, julkaisussa : Advanced Materials Interfaces . 6, 3, 7 Sivumäärä, 1801291.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of Nickel Nitride Thin Films using NiCl2(TMPDA) and Tert‐Butylhydrazine as Precursors

Väyrynen, K., Hatanpää, T., Mattinen, M., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Räisänen, J., Link, J., Stern, R., Ritala, M. & Leskelä, M., kesäkuuta 2019, julkaisussa : Physica Status Solidi. A: Applications and Materials Science. 216, 11, s. 1900058 9 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of PbI₂ Thin Films

Popov, G., Mattinen, M. J., Hatanpää, T., Vehkamäki, M., Kemell, M., Mizohata, K., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 12 helmikuuta 2019, julkaisussa : Chemistry of Materials. 31, 3, s. 1101–1109 9 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Atomic Layer Deposition of Photoconductive Cu2O Thin Films

Iivonen, T., Heikkilä, M. J., Popov, G., Nieminen, H-E., Kaipio, M., Kemell, M., Mattinen, M., Meinander, K., Mizohata, K., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., kesäkuuta 2019, julkaisussa : ACS Omega. 4, 6, s. 11205-11214 10 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Crystalline tungsten sulfide thin films by atomic layer deposition and mild annealing

Mattinen, M., Hatanpää, T., King, P. J., Meinander, K., Mizohata, K., Jalkanen, P., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., maaliskuuta 2019, julkaisussa : Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 37, 2, 9 Sivumäärä, 020921.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Fully Automated Online Dynamic In-Tube Extraction for Continuous Sampling of Volatile Organic Compounds in Air

Lan, H., Holopainen, J., Hartonen, K., Jussila, M., Ritala, M. & Riekkola, M-L., 2 heinäkuuta 2019, julkaisussa : Analytical Chemistry. 91, 13, s. 8507-8515 9 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Intercalation of Lithium Ions from Gaseous Precursors into beta-MnO2 Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition

Nieminen, H., Miikkulainen, V., Settipani, D., Simonelli, L., Hönicke, P., Zech, C., Kayser, Y., Beckhoff, B., Honkanen, A-P., Heikkilä, M., Mizohata, K., Meinander, N. K., Ylivaara, O. M. E., Huotari, S. & Ritala, M., 27 kesäkuuta 2019, julkaisussa : Journal of Physical Chemistry C. 123, 25, s. 15802-15814 13 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Nickel Germanide Thin Films by Atomic Layer Deposition

Väyrynen, K., Vihervaara, A., Hatanpää, T., Mattinen, M., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Raisanen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 23 heinäkuuta 2019, julkaisussa : Chemistry of Materials. 31, 14, s. 5314-5319 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Submicron fibers as a morphological improvement of amorphous zirconium oxide particles and their utilization in antimonate (Sb(v)) removal

Lönnrot, S., Suorsa, V., Paajanen, J., Hatanpää, T., Ritala, M. & Koivula, R., 22 heinäkuuta 2019, julkaisussa : RSC Advances. 9, 39, s. 22355-22365 11 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

TiO2 Photocatalyzed Oxidation of Drugs Studied by Laser Ablation Electrospray Ionization Mass Spectrometry

van Geenen, F. A. M. G., Franssen, M. C. R., Miikkulainen, V., Ritala, M., Zuilhof, H., Kostiainen, R. & Nielen, M. W. F., huhtikuuta 2019, julkaisussa : Journal of the American Society for Mass Spectrometry. 30, 4, s. 639-646 8 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Titania Nanotubes/Hydroxyapatite Nanocomposites Produced with the Use of the Atomic Layer Deposition Technique: Estimation of Bioactivity and Nanomechanical Properties

Radtke, A., Ehlert, M., Jcdrzejewski, T., Sadowska, B., Wieckowska-Szakiel, M., Holopainen, J., Ritala, M., Leskelä, M., Bartmanski, M., Szkodo, M. & Piszczek, P., tammikuuta 2019, julkaisussa : Nanomaterials. 9, 1, 21 Sivumäärä, 123.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Toward epitaxial ternary oxide multilayer device stacks by atomic layer deposition

King, P. J., Vehkamäki, M., Mattinen, M., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Noh, W., Leskelä, M. & Ritala, M., maaliskuuta 2019, julkaisussa : Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 37, 2, 4 Sivumäärä, 020602.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2018

Adhesion and mechanical properties of nanocrystalline hydroxyapatite coating obtained by conversion of atomic layer-deposited calcium carbonate on titanium substrate

Avila, I., Pantchev, K., Holopainen, J., Ritala, M. & Tuukkanen, J., elokuuta 2018, julkaisussa : Journal of Materials Science: Materials in Medicine. 29, 8, 8 Sivumäärä, 111.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition and Performance of ZrO2-Al2O3 Thin Films

Kukli, K., Kemell, M., Castan, H., Duenas, S., Seemen, H., Rähn, M., Link, J., Stern, R., Heikkilä, M. J., Ritala, M. & Leskelä, M., 2018, julkaisussa : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 7, 5, s. P287-P294 8 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition and Properties of HfO2-Al2O3 Nanolaminates

Kukli, K., Kemell, M., Castan, H., Duenas, S., Seemen, H., Rähn, M., Link, J., Stern, R., Ritala, M. & Leskelä, M., 6 syyskuuta 2018, julkaisussa : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 7, 9, s. P501-P508 8 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Atomic layer deposition of crystalline molybdenum oxide thin films and phase control by post-deposition annealing

Mattinen, M., King, P. J., Khriachtchev, L., Heikkilä, M. J., Fleming, B., Rushworth, S., Mizohata, K., Meinander, K., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., syyskuuta 2018, julkaisussa : Materials today chemistry. 9, s. 17-27 11 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Atomic layer deposition of lanthanum oxide with heteroleptic cyclopentadienyl-amidinate lanthanum precursor - Effect of the oxygen source on the film growth and properties

Seppälä, S., Niinistö, J., Mattinen, M., Mizohata, K., Räisänen, J., Noh, W., Ritala, M. & Leskelä, M., 30 elokuuta 2018, julkaisussa : Thin Solid Films. 660, s. 199-206 8 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Atomic Layer Deposition of Molybdenum and Tungsten Oxide Thin Films Using Heteroleptic Imido-Amidinato Precursors: Process Development, Film Characterization, and Gas Sensing Properties

Mattinen, M., Wree, J-L., Stegmann, N., Ciftyurek, E., El Achhab, M., King, P. J., Mizohata, K., Räisänen, J., Schierbaum, K. D., Devi, A., Ritala, M. & Leskelä, M., 11 joulukuuta 2018, julkaisussa : Chemistry of Materials. 30, 23, s. 8690-8701 12 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of Rhenium Disulfide

Hämäläinen, J., Mattinen, M., Mizohata, K., Meinander, K., Vehkamäki, M., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 13 kesäkuuta 2018, julkaisussa : Advanced Materials. 30, 24, s. 1703622 6 Sivumäärä, 1703622.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of Zirconium Dioxide from Zirconium Tetraiodide and Ozone

Kukli, K., Kemell, M., Mizohata, K., Vehkamäki, M., Kalam, K., Castan, H., Duenas, S., Link, J., Stern, R., Ritala, M. & Leskelä, M., 2018, julkaisussa : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 7, 2, s. P1-P8 8 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Electrospun sodium titanate fibres for fast and selective water purification

Santala, E. J. T., Koivula, R. T., Harjula, R. O. & Ritala, M. K., 28 toukokuuta 2018, julkaisussa : Environmental Technology. 7 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Low-Temperature Wafer-Scale Deposition of Continuous 2D SnS2 Films

Mattinen, M., King, P. J., Khriachtchev, L., Meinander, K., Gibbon, J. T., Dhanak, V. R., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 24 toukokuuta 2018, julkaisussa : Small. 14, 21, 8 Sivumäärä, 1800547.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Metal Fluorides as Lithium-Ion Battery Materials: An Atomic Layer Deposition Perspective

Mäntymäki, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 8 elokuuta 2018, julkaisussa : Coatings. 8, 8, 40 Sivumäärä, 277.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKatsausartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Metal oxide multilayer hard mask system for 3D nanofabrication

Han, Z., Vehkamäki, M., Salmi, E., Leskelä, M. & Ritala, M., 2 helmikuuta 2018, julkaisussa : Nanotechnology. 29, 5, 8 Sivumäärä, 055301.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Patterned films by atomic layer deposition using Parafilm as a mask

Zhang, C., Kalliomäki, J., Leskelä, M. & Ritala, M., tammikuuta 2018, julkaisussa : Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 36, 1, 5 Sivumäärä, ARTN 01B102.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Rhenium Metal and Rhenium Nitride Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition

Hämäläinen, J., Mizohata, K., Meinander, K., Mattinen, M., Vehkamäki, M., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 26 lokakuuta 2018, julkaisussa : Angewandte Chemie (International Edition). 57, 44, s. 14538-14542 5 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Study of the influence of the dielectric composition of Al/Ti/ZrO2:Al2O3/TiN/Si/Al structures on the resistive switching behavior for memory applications

Castán, H., Dueñas, S., Kukli, K., Kemell, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 2018, julkaisussa : ECS transactions. 85, 8, s. 143-148 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Towards space-grade 3D-printed, ALD-coated small satellite propulsion components for fluidics

Kestilä, A., Nordling, K. G. M., Miikkulainen, V., Kaipio, M., Tikka, T., Salmi, M., Auer, A., Leskelä, M. & Ritala, M., elokuuta 2018, julkaisussa : Additive manufacturing. 22, s. 31-37 7 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Zeolitic imidazole Framework-8 (ZIF-8) fibers by gas-phase conversion of electroblown zinc oxide and aluminum doped zinc oxide fibers

Holopainen, J., Heikkilä, M. J., Salmi, L. D., Ainassaari, K. & Ritala, M., 1 syyskuuta 2018, julkaisussa : Microporous and Mesoporous Materials. 267, s. 212-220 9 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
2017

(Invited) Photo-Assisted ALD: Process Development and Application Perspectives

Miikkulainen, V., Väyrynen, K., Kilpi, V., Han, Z., Vehkamäki, M., Mizohata, K., Räisänen, J. & Ritala, M., 2017, julkaisussa : ECS transactions. 80, 3, s. 49-60 12 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Admittance memory cycles of Ta2O5-ZrO2-based RRAM devices

Duenas, S., Castan, H., Ossorio, O. G., Dominguez, L. A., Gracia, H., Kalam, K., Kukli, K., Ritala, M. & Leskelä, M., 2017, 2017 32ND CONFERENCE ON DESIGN OF CIRCUITS AND INTEGRATED SYSTEMS (DCIS). IEEE, 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

As2S3 thin films deposited by atomic layer deposition

Färm, E., Heikkilä, M. J., Vehkamäki, M., Mizohata, K., Ritala, M., Leskelä, M. & Kemell, M., tammikuuta 2017, julkaisussa : Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 35, 1, 7 Sivumäärä, 01B114.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic layer deposited protective layers

Leskelä, M., Salmi, E. & Ritala, M., 2017, julkaisussa : Materials Science Forum. 879, s. 1086-1092 7 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic layer deposition and properties of mixed Ta2O5 and ZrO2 films

Kukli, K., Kemell, M., Vehkamäki, M., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Kalam, K., Ritala, M., Leskelä, M., Kundrata, I. & Frohlich, K., helmikuuta 2017, julkaisussa : AIP Advances. 7, 2, 15 Sivumäärä, 025001.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Atomic Layer Deposition of Crystalline MoS2 Thin Films: New Molybdenum Precursor for Low-Temperature Film Growth

Mattinen, M., Hatanpaa, T., Sarnet, T., Mizohata, K., Meinander, K., King, P. J., Khriachtchev, L., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 22 syyskuuta 2017, julkaisussa : Advanced Materials Interfaces . 4, 18, 11 Sivumäärä, 1700123.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto

Atomic layer deposition of tin oxide thin films from bis[bis(trimethylsilyl)amino]tin(II) with ozone and water

Tupala, J. O., Kemell, M. L., Mattinen, M. J., Meinander, N. K., Seppälä, S. S., Hatanpää, T. T., Räisänen, J. A., Ritala, M. K. & Leskelä, M. A., 30 toukokuuta 2017, julkaisussa : Journal of Vacuum Science Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 35, 4, 8 Sivumäärä, 041506.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Atomic Layer Deposition of Zinc Glutarate Thin Films

Salmi, L. D., Mattinen, M. J., Niemi, T. Y. M., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Korhonen, S., Hirvonen, S-P., Räisänen, J. A. & Ritala, M. K., syyskuuta 2017, julkaisussa : Advanced Materials Interfaces . 4, 22, 6 Sivumäärä, 1700512 .

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Low-Temperature Atomic Layer Deposition of Low-Resistivity Copper Thin Films Using Cu(dmap)(2) and Tertiary Butyl Hydrazine

Väyrynen, K., Mizohata, K., Räisänen, J., Peeters, D., Devi, A., Ritala, M. & Leskelä, M., 8 elokuuta 2017, julkaisussa : Chemistry of Materials. 29, 15, s. 6502-6510 9 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Preparation of Lithium Containing Oxides by the Solid State Reaction of Atomic Layer Deposited Thin Films

Atosuo, E., Mäntymäki, M., Mizohata, K., Heikkilä, M. J., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 14 helmikuuta 2017, julkaisussa : Chemistry of Materials. 29, 3, s. 998-1005 8 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Studies on Li3AlF6 thin film deposition utilizing conversion reactions of thin films

Mäntymäki, M. J., Mizohata, K., Heikkilä, M. J., Räisänen, J. A., Ritala, M. K. & Leskelä, M. A., 2017, julkaisussa : Thin Solid Films. 636, s. 26-33 8 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Studies on Thermal Atomic Layer Deposition of Silver Thin Films

Mäkelä, M., Hatanpää, T., Mizohata, K., Meinander, K., Niinistö, J., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 14 maaliskuuta 2017, julkaisussa : Chemistry of Materials. 29, 5, s. 2040-2045 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Surface Modification of Acetaminophen Particles by Atomic Layer Deposition

Kääriäinen, T. O., Kemell, M. L., Vehkamäki, M. J., Kääriäinen, M-L., Correia, A., Almeida Santos, H., Marques dos Santos Bimbo, L. M., Hirvonen, J. T., Hoppu, P., George, S. M., Cameron, D. C., Ritala, M. K. & Leskelä, M. A., 15 kesäkuuta 2017, julkaisussa : International Journal of Pharmaceutics. 525, 1, s. 160–174 15 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Thermal Atomic Layer Deposition of Continuous and Highly Conducting Gold Thin Films

Mäkelä, M. I., Hatanpää, T. T., Mizohata, K., Räisänen, J. A., Ritala, M. K. & Leskelä, M. A., 27 kesäkuuta 2017, julkaisussa : Chemistry of Materials. 29, 14, s. 6130–6136 7 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

TiO2 Photocatalysis-DESI-MS Rotating Array Platform for High-Throughput Investigation of Oxidation Reactions

Ruokolainen, M., Miikkulainen, V., Ritala, M., Sikanen, T., Kotiaho, T. & Kostiainen, R., 7 marraskuuta 2017, julkaisussa : Analytical Chemistry. 89, 21, s. 11214-11218 5 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

2016

Alkylsilyl compounds as enablers of atomic layer deposition: analysis of (Et3Si)(3)As through the GaAs process

Sarnet, T., Hatanpää, T., Laitinen, M., Sajavaara, T., Mizohata, K., Ritala, M. & Leskelä, M., 2016, julkaisussa : Journal of Materials Chemistry. C. 4, 3, s. 449-454 6 Sivumäärä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu