ALD from emerging applications to industrial production: selected examples beyond IC technology

Tutkimustuotos: Kirja/raporttiTutkimusraportti

Alkuperäiskielienglanti
TilaJulkaistu - 2011
Julkaistu ulkoisestiKyllä
OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

Siteeraa tätä