Area-Selective Etching of Poly(methyl methacrylate) Films by Catalytic Decomposition

Valtteri Lasonen; Anton Vihervaara; Georgi Popov; Eva Tois; Lars Mester; Mohammad Karimi; Yoana Ilarionova; Reza Jafari Jam; Jonas Sundqvist; Mikko Ritala

doi:10.1021/acs.chemmater.3c01185

Area-Selective Etching of Poly(methyl methacrylate) Films by Catalytic Decomposition

Valtteri Lasonen, Anton Vihervaara, Georgi Popov, Eva Tois, Lars Mester, Mohammad Karimi, Yoana Ilarionova, Reza Jafari Jam, Jonas Sundqvist, Mikko Ritala

Tutkimustuotos: Artikkelijulkaisu › Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	englanti
Lehti	Chemistry of Materials
Vuosikerta	35
Numero	15
Sivut	6097-6108
Sivumäärä	12
ISSN	0897-4756
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.3c01185
Tila	Julkaistu - 22 heinäk. 2023
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

116 Kemia

Pääsy asiakirjaan

10.1021/acs.chemmater.3c01185Lisenssi: CC BY

lasonen-et-al-2023-area-selective-etching-of-poly(methyl-methacrylate)-films-by-catalytic-decompositionLopullinen julkaistu versio, 6,71 MBLisenssi: CC BY

HelsinkiALD
Putkonen, M. (Johtaja), Ritala, M. (Johtaja), Mäntymäki, M. (Operaattori), Kemell, M. (Operaattori), Vehkamäki, M. (Operaattori) & Heikkilä, M. (Operaattori)
Kemian osasto
Laitteistot/tilat: Tutkimuslaboratorio

Siteeraa tätä

@article{60f55488726742808854f1b89d0d50b4,

title = "Area-Selective Etching of Poly(methyl methacrylate) Films by Catalytic Decomposition",

keywords = "Atomic layer deposition, Noble-metals, Waste, 116 Chemical sciences",

author = "Valtteri Lasonen and Anton Vihervaara and Georgi Popov and Eva Tois and Lars Mester and Mohammad Karimi and Yoana Ilarionova and Jam, {Reza Jafari} and Jonas Sundqvist and Mikko Ritala",

year = "2023",

month = jul,

day = "22",

doi = "10.1021/acs.chemmater.3c01185",

language = "English",

volume = "35",

pages = "6097--6108",

journal = "Chemistry of Materials",

issn = "0897-4756",

publisher = "American Chemical Society",

number = "15",

}

TY - JOUR

T1 - Area-Selective Etching of Poly(methyl methacrylate) Films by Catalytic Decomposition

AU - Lasonen, Valtteri

AU - Vihervaara, Anton

AU - Popov, Georgi

AU - Tois, Eva

AU - Mester, Lars

AU - Karimi, Mohammad

AU - Ilarionova, Yoana

AU - Jam, Reza Jafari

AU - Sundqvist, Jonas

AU - Ritala, Mikko

PY - 2023/7/22

Y1 - 2023/7/22

KW - Atomic layer deposition

KW - Noble-metals

KW - Waste

KW - 116 Chemical sciences

U2 - 10.1021/acs.chemmater.3c01185

DO - 10.1021/acs.chemmater.3c01185

M3 - Article

SN - 0897-4756

VL - 35

SP - 6097

EP - 6108

JO - Chemistry of Materials

JF - Chemistry of Materials

IS - 15

ER -

Area-Selective Etching of Poly(methyl methacrylate) Films by Catalytic Decomposition

Tieteenalat

Pääsy asiakirjaan

Laitteet

HelsinkiALD

Siteeraa tätä