As2S3 thin films deposited by atomic layer deposition

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli01B114
LehtiJournal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Vuosikerta35
Numero1
Sivumäärä7
ISSN0734-2101
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - tammikuuta 2017
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka
  • 116 Kemia

Siteeraa tätä