Atomic Layer Deposition and Characterization of Erbium Oxide-Doped Zirconium Oxide Thin Films

Aile Tamm, Marianna Kemell, Jekaterina Kozlova, Timo Sajavaara, Massimo Tallarida, Kaupo Kukli, Väinö Sammelselg, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
LehtiJournal of the Electrochemical Society
Vuosikerta157
Numero10
SivutG193-G201
Sivumäärä9
ISSN0013-4651
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia

Siteeraa tätä