Atomic Layer Deposition of Emerging 2D Semiconductors, HfS2 and ZrS2, for Optoelectronics

Miika Mattinen, Georgi Popov, Marko Vehkamäki, Peter J. King, Kenichiro Mizohata, Pasi Jalkanen, Jyrki Räisänen, Markku Leskelä, Mikko Ritala

Tutkimustuotos: Artikkelijulkaisu › Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

1 tulosta
- Nimi(laskeva)

HelsinkiALD
Matti Putkonen (Johtaja), Mikko Ritala (Johtaja), Miia Mäntymäki (Operaattori), Marianna Kemell (Operaattori), Marko Vehkamäki (Operaattori) & Mikko Heikkilä (Operaattori)
Kemian osasto
Laitteistot/tilat: Tutkimuslaboratorio