Atomic Layer Deposition of Inorganic-Organic Hybrid Material Thin Films

Leo Salmi

Tutkimustuotos: Opinnäyte › Väitöskirja › Artikkelikokoelma

Alkuperäiskieli	englanti
Myöntävä instituutio	Helsingin yliopisto
Valvoja/neuvonantaja	Ritala, Mikko, Valvoja
Julkaisupaikka	Helsinki
Kustantaja	Helsingin yliopisto
Painoksen ISBN	978-951-51-6439-1
Tila	Julkaistu - 2020
OKM-julkaisutyyppi	G5 Tohtorinväitöskirja (artikkeli)

Tieteenalat

@phdthesis{c8854b7d2f4e4381b27e6b715a81bfe0,

title = "Atomic Layer Deposition of Inorganic-Organic Hybrid Material Thin Films",

keywords = "116 Chemical sciences",

author = "Leo Salmi",

year = "2020",

language = "English",

isbn = "978-951-51-6439-1",

publisher = "Helsingin yliopisto",

address = "Finland",

school = "University of Helsinki",

}