Atomic Layer Deposition of Insulating AlF3/Polyimide Nanolaminate Films

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli355
LehtiCoatings
Vuosikerta11
Numero3
Sivumäärä13
ISSN2079-6412
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - maaliskuuta 2021
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 221 Nanoteknologia

Siteeraa tätä