Atomic Layer Deposition of Intermetallic Co3Sn2 and Ni3Sn2 Thin Films

Katja Väyrynen, Timo Hatanpää, Miika Mattinen, Kenichiro Mizohata, Kristoffer Meinander, Jyrki Räisänen, Joosep Link, Raivo Stern, Mikko Ritala, Markku Leskela

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli1801291
LehtiAdvanced Materials Interfaces
Vuosikerta6
Numero3
Sivumäärä7
ISSN2196-7350
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 8 helmikuuta 2019
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 221 Nanoteknologia
  • 116 Kemia
  • 114 Fysiikka

Siteeraa tätä