Atomic Layer Deposition of Molybdenum Nitride Films

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
OtsikkoAdvanced Metallization Conference 2004 (AMC 2004)
ToimittajatDarrell Erb
Sivumäärä6
KustantajaMaterials Research Society
Julkaisupäivä2005
Sivut763-768
ISBN (painettu)1558998144
TilaJulkaistu - 2005
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa
TapahtumaAdvanced Metallization Conference - San Diego, Yhdysvallat (USA)
Kesto: 21 lokak. 200421 lokak. 2004

Julkaisusarja

NimiMRS Conference Proceedings Series
Vuosikerta20

Tieteenalat

  • 116 Kemia

Siteeraa tätä