Atomic Layer Deposition of Ruthenium Films on Strontium Titanate

Kaupo Kukli, Marianna Kemell, Jun Lu, Lars Hultman, Stefan Riedel, Jonas Sundqvist, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
LehtiJournal of Nanoscience and Nanotechnology
Vuosikerta11
Numero9
Sivut8378-8382
Sivumäärä5
ISSN1533-4880
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - syyskuuta 2011
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia

Siteeraa tätä