Atomic layer deposition of TbF3 thin films

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli022404
LehtiJournal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Vuosikerta39
Numero2
Sivumäärä7
ISSN0734-2101
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - maaliskuuta 2021
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka
  • 116 Kemia

Siteeraa tätä