Atomic layer deposition of zirconium dioxide from zirconium tetrachloride and ozone

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
LehtiThin Solid Films
Vuosikerta589
Sivut597-604
Sivumäärä8
ISSN0040-6090
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 31 elokuuta 2015
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia
  • 114 Fysiikka

Siteeraa tätä