Atomic Layer Deposition of Zirconium Dioxide from Zirconium Tetraiodide and Ozone

Kaupo Kukli, Marianna Kemell, Kenichiro Mizohata, Marko Vehkamäki, Kristjan Kalam, Helena Castan, Salvador Duenas, Joosep Link, Raivo Stern, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
LehtiECS Journal of Solid State Science and Technology
Vuosikerta7
Numero2
SivutP1-P8
Sivumäärä8
ISSN2162-8769
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2018
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia
  • 114 Fysiikka

Siteeraa tätä