Continuous-Wave Laser Annealing of a Si/SiO2 Superlattice: Effect of the Ambient Atmosphere and Exposure Period

Timur Nikitin, Marianna Kemell, Esa Puukilainen, Markku Rasanen, Mikko Ritala, Sergei Novikov, Leonid Khriachtchev

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
LehtiScience of advanced materials
Vuosikerta6
Numero5
Sivut1000-1010
Sivumäärä11
ISSN1947-2935
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - toukokuuta 2014
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia

Siteeraa tätä