Cyclopentadienyl Precursors for the Atomic Layer Deposition of Erbium Oxide Thin Films

Timothee Blanquart, Mikko Kaipio, Jaakko Niinistö, Marco Gavagnin, Valentino Longo, Laurie Blanquart, Clement Lansalot, W. Noh, Heinz D. Wanzenböck, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
LehtiChemical Vapor Deposition
Vuosikerta20
Numero7-9
Sivut217-223
Sivumäärä7
ISSN0948-1907
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - syysk. 2014
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia

Siteeraa tätä