Defect and density evolution under high-fluence ion irradiation of Si/SiO2 heterostructures

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli013601
LehtiPhysical Review Materials
Vuosikerta4
Numero1
Sivumäärä12
ISSN2475-9953
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 3 tammikuuta 2020
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka

Lainaa tätä

@article{f8cf47fc294e412ea24e032e78f08983,
title = "Defect and density evolution under high-fluence ion irradiation of Si/SiO2 heterostructures",
keywords = "SINGLE-ELECTRON TRANSISTOR, SILICON QUANTUM-DOT, MOLECULAR-DYNAMICS, SI NANOCRYSTALS, NANOCLUSTER FORMATION, LAYER FORMATION, BEAM SYNTHESIS, SIMULATION, RADIATION, DENSIFICATION, 114 Physical sciences",
author = "F. Djurabekova and C. Fridlund and K. Nordlund",
year = "2020",
month = "1",
day = "3",
doi = "10.1103/PhysRevMaterials.4.013601",
language = "English",
volume = "4",
journal = "Physical Review Materials",
issn = "2475-9953",
publisher = "AVS",
number = "1",

}

Defect and density evolution under high-fluence ion irradiation of Si/SiO2 heterostructures. / Djurabekova, F.; Fridlund, C.; Nordlund, K.

julkaisussa: Physical Review Materials, Vuosikerta 4, Nro 1, 013601, 03.01.2020.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

TY - JOUR

T1 - Defect and density evolution under high-fluence ion irradiation of Si/SiO2 heterostructures

AU - Djurabekova, F.

AU - Fridlund, C.

AU - Nordlund, K.

PY - 2020/1/3

Y1 - 2020/1/3

KW - SINGLE-ELECTRON TRANSISTOR

KW - SILICON QUANTUM-DOT

KW - MOLECULAR-DYNAMICS

KW - SI NANOCRYSTALS

KW - NANOCLUSTER FORMATION

KW - LAYER FORMATION

KW - BEAM SYNTHESIS

KW - SIMULATION

KW - RADIATION

KW - DENSIFICATION

KW - 114 Physical sciences

U2 - 10.1103/PhysRevMaterials.4.013601

DO - 10.1103/PhysRevMaterials.4.013601

M3 - Article

VL - 4

JO - Physical Review Materials

JF - Physical Review Materials

SN - 2475-9953

IS - 1

M1 - 013601

ER -