Defect and density evolution under high-fluence ion irradiation of Si/SiO2 heterostructures

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli013601
LehtiPhysical Review Materials
Vuosikerta4
Numero1
Sivumäärä12
ISSN2475-9953
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 3 tammikuuta 2020
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka

Siteeraa tätä