Electrical characterization of Al[sub x]Ti[sub y]O[sub z] mixtures and AlO-TiO-AlO nanolaminates

Indrek Jogi, Kaupo Kukli, Marianna Kemell, Mikko Ritala, Markku Leskelä

    Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

    Alkuperäiskielienglanti
    LehtiJournal of Applied Physics
    Vuosikerta102
    Numero11
    Sivutart. 114114
    Sivumäärä11
    ISSN0021-8979
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2007
    OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

    Tieteenalat

    • ATOMIC LAYER DEPOSITION
    • OXIDE THIN-FILMS
    • GATE DIELECTRICS
    • METAL
    • SILICON
    • CONDUCTION
    • PERFORMANCE
    • TRANSISTORS
    • CAPACITORS
    • STACKS
    • 116 Kemia

    Siteeraa tätä