Electroluminescent SrS and BaS thin films deposited by ALD using cyclopentadienyl precursors

Jarkko Ihanus; Timo Hänninen; Timo Hatanpää; Mikko Ritala; Markku Leskelä

doi:10.1149/1.1787633

Electroluminescent SrS and BaS thin films deposited by ALD using cyclopentadienyl precursors

Jarkko Ihanus, Timo Hänninen, Timo Hatanpää, Mikko Ritala, Markku Leskelä

HelsinkiALD

Tutkimustuotos: Artikkelijulkaisu › Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	englanti
Lehti	Journal of the Electrochemical Society
Vuosikerta	151
Numero	10
Sivut	H221-H225
Sivumäärä	5
ISSN	0013-4651
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1149/1.1787633
Tila	Julkaistu - 2004
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

116 Kemia

Pääsy asiakirjaan

10.1149/1.1787633

HelsinkiALD
Putkonen, M. (Johtaja), Ritala, M. (Johtaja), Mäntymäki, M. (Operaattori), Kemell, M. (Operaattori), Vehkamäki, M. (Operaattori) & Heikkilä, M. (Operaattori)
Kemian osasto
Laitteistot/tilat: Tutkimuslaboratorio

Siteeraa tätä

@article{2e233022f9354b9ba3d749d904a17c64,

title = "Electroluminescent SrS and BaS thin films deposited by ALD using cyclopentadienyl precursors",

keywords = "ATOMIC LAYER EPITAXY, IN-SITU, DEVICES, CE, CU, EFFICIENCY, CENTERS, GROWTH, 116 Chemical sciences",

author = "Jarkko Ihanus and Timo H{\"a}nninen and Timo Hatanp{\"a}{\"a} and Mikko Ritala and Markku Leskel{\"a}",

year = "2004",

doi = "10.1149/1.1787633",

language = "English",

volume = "151",

pages = "H221--H225",

journal = "Journal of the Electrochemical Society",

issn = "0013-4651",

publisher = "Institute of physics",

number = "10",

}

TY - JOUR

T1 - Electroluminescent SrS and BaS thin films deposited by ALD using cyclopentadienyl precursors

AU - Ihanus, Jarkko

AU - Hänninen, Timo

AU - Hatanpää, Timo

AU - Ritala, Mikko

AU - Leskelä, Markku

PY - 2004

Y1 - 2004

KW - ATOMIC LAYER EPITAXY

KW - IN-SITU

KW - DEVICES

KW - CE

KW - CU

KW - EFFICIENCY

KW - CENTERS

KW - GROWTH

KW - 116 Chemical sciences

U2 - 10.1149/1.1787633

DO - 10.1149/1.1787633

M3 - Article

SN - 0013-4651

VL - 151

SP - H221-H225

JO - Journal of the Electrochemical Society

JF - Journal of the Electrochemical Society

IS - 10

ER -

Electroluminescent SrS and BaS thin films deposited by ALD using cyclopentadienyl precursors

Tieteenalat

Pääsy asiakirjaan

Laitteet

HelsinkiALD

Siteeraa tätä