Fabrication of GaN-air channels for embedded photonic structures

Marta Sawicka, Oliwia Golyga, Natalia Fiuczek, Grzegorz Muziol, Anna Feduniewicz-Zmuda, Marcin Siekacz, Henryk Turski, Robert Czernecki, Ewa Grzanka, Igor Prozheev, Filip Tuomisto, Czeslaw Skierbiszewski

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli107234
LehtiMaterials Science in Semiconductor Processing
Vuosikerta155
Sivumäärä6
ISSN1369-8001
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 1 maalisk. 2023
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka

Siteeraa tätä