Fabrication of Silicon Nanostructures with Electric Discharge

Niina Suni, Markus Haapala, Elina Färm, Mikko Ritala, Tapio Kotiaho, Lauri Sainiemi, Sami Franssila, Risto Kostiainen

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

    Alkuperäiskielienglanti
    Otsikko13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences
    Sivumäärä3
    Julkaisupäivä2009
    Sivut254-256
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa
    TapahtumaµTAS 2009 -konferenssi, Jeju, Etelä-Korea - Jeju, Korean tasavalta (Etelä-Korea)
    Kesto: 1 marraskuuta 20095 marraskuuta 2009
    Konferenssinumero: 13

    Lisätietoja


    Volume:
    Proceeding volume:

    Tieteenalat

    • 116 Kemia
    • 317 Farmasia

    Lainaa tätä

    Suni, N., Haapala, M., Färm, E., Ritala, M., Kotiaho, T., Sainiemi, L., ... Kostiainen, R. (2009). Fabrication of Silicon Nanostructures with Electric Discharge. teoksessa 13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (Sivut 254-256)
    Suni, Niina ; Haapala, Markus ; Färm, Elina ; Ritala, Mikko ; Kotiaho, Tapio ; Sainiemi, Lauri ; Franssila, Sami ; Kostiainen, Risto. / Fabrication of Silicon Nanostructures with Electric Discharge. 13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences. 2009. Sivut 254-256
    @inproceedings{4f4c5bee22584d319100fbc11ea3f8ae,
    title = "Fabrication of Silicon Nanostructures with Electric Discharge",
    keywords = "116 Chemical sciences, 317 Pharmacy",
    author = "Niina Suni and Markus Haapala and Elina F{\"a}rm and Mikko Ritala and Tapio Kotiaho and Lauri Sainiemi and Sami Franssila and Risto Kostiainen",
    note = "Volume: Proceeding volume:",
    year = "2009",
    language = "English",
    pages = "254--256",
    booktitle = "13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences",

    }

    Suni, N, Haapala, M, Färm, E, Ritala, M, Kotiaho, T, Sainiemi, L, Franssila, S & Kostiainen, R 2009, Fabrication of Silicon Nanostructures with Electric Discharge. julkaisussa 13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences. Sivut 254-256, µTAS 2009 -konferenssi, Jeju, Etelä-Korea, Jeju, Korean tasavalta (Etelä-Korea), 01/11/2009.

    Fabrication of Silicon Nanostructures with Electric Discharge. / Suni, Niina; Haapala, Markus; Färm, Elina; Ritala, Mikko; Kotiaho, Tapio; Sainiemi, Lauri; Franssila, Sami; Kostiainen, Risto.

    13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences. 2009. s. 254-256.

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

    TY - GEN

    T1 - Fabrication of Silicon Nanostructures with Electric Discharge

    AU - Suni, Niina

    AU - Haapala, Markus

    AU - Färm, Elina

    AU - Ritala, Mikko

    AU - Kotiaho, Tapio

    AU - Sainiemi, Lauri

    AU - Franssila, Sami

    AU - Kostiainen, Risto

    N1 - Volume: Proceeding volume:

    PY - 2009

    Y1 - 2009

    KW - 116 Chemical sciences

    KW - 317 Pharmacy

    M3 - Conference contribution

    SP - 254

    EP - 256

    BT - 13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences

    ER -

    Suni N, Haapala M, Färm E, Ritala M, Kotiaho T, Sainiemi L et al. Fabrication of Silicon Nanostructures with Electric Discharge. julkaisussa 13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences. 2009. s. 254-256