High-quality slot waveguide ring resonator based on atomic layer deposition

A. Autere, L. Karvonen, A. Saynatjoki, M. Roussey, E. Färm, M. Kemell, X. Tu, T. Y. Liow, G. Q. Lo, M. Ritala, M. Leskelä, S. Honkanen, Z. Sun

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinen

Alkuperäiskielienglanti
OtsikkoSILICON PHOTONICS X
ToimittajatGT Reed, MR Watts
Sivumäärä7
KustantajaSPIE
Julkaisupäivä2015
Artikkeli no93671J
ISBN (painettu)978-1-62841-457-8
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2015
OKM-julkaisutyyppiB3 Vertaisarvioimaton artikkeli konferenssijulkaisussa
TapahtumaSilicon Photonics - San Francisco, Yhdysvallat (USA)
Kesto: 9 helmikuuta 201512 helmikuuta 2015
Konferenssinumero: X

Julkaisusarja

NimiProceedings of SPIE
KustantajaSPIE
Vuosikerta9367
ISSN (painettu)0277-786X

Lisätietoja


Volume:
Proceeding volume:

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka
  • 116 Kemia

Siteeraa tätä