Impact of rapid thermal annealing of Ti/TiN bilayers on subsequent chemical vapor deposition of tungsten

A Mouroux, R Palmans, J Keinonen, SL Zhang, K Maex, S Petersson

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
OtsikkoUnknown host publication
ToimittajatKN Tu, JW Mayer, JM Poate, LJ Chen
Sivumäärä6
Julkaisupäivä1996
Sivut365-370
TilaJulkaistu - 1996
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Julkaisusarja

NimiMATERIALS RESEARCH SOCIETY CONFERENCE PROCEEDINGS
KustantajaMATERIALS RESEARCH SOC
Vuosikerta427
ISSN (painettu)0886-7860

Lisätietoja


Volume:
Proceeding volume:

Siteeraa tätä