Impact of rapid thermal annealing of Ti/TiN bilayers on subsequent chemical vapor deposition of tungsten

A Mouroux; R Palmans; J Keinonen; SL Zhang; K Maex; S Petersson

Impact of rapid thermal annealing of Ti/TiN bilayers on subsequent chemical vapor deposition of tungsten

A Mouroux, R Palmans, J Keinonen, SL Zhang, K Maex, S Petersson

Fysiikan osasto

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussa › Konferenssiartikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	englanti
Otsikko	Unknown host publication
Toimittajat	KN Tu, JW Mayer, JM Poate, LJ Chen
Sivumäärä	6
Julkaisupäivä	1996
Sivut	365-370
Tila	Julkaistu - 1996
OKM-julkaisutyyppi	A4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Julkaisusarja

Nimi	MATERIALS RESEARCH SOCIETY CONFERENCE PROCEEDINGS
Kustantaja	MATERIALS RESEARCH SOC
Vuosikerta	427
ISSN (painettu)	0886-7860

Lisätietoja

Volume:
Proceeding volume:

Siteeraa tätä

@inproceedings{3d6cc20ec20a49d0a02f0f2218485e3b,

title = "Impact of rapid thermal annealing of Ti/TiN bilayers on subsequent chemical vapor deposition of tungsten",

author = "A Mouroux and R Palmans and J Keinonen and SL Zhang and K Maex and S Petersson",

note = " Volume: Proceeding volume: ",

year = "1996",

language = "English",

series = "MATERIALS RESEARCH SOCIETY CONFERENCE PROCEEDINGS",

publisher = "MATERIALS RESEARCH SOC",

pages = "365--370",

editor = "KN Tu and JW Mayer and JM Poate and LJ Chen",

booktitle = "Unknown host publication",

}

Impact of rapid thermal annealing of Ti/TiN bilayers on subsequent chemical vapor deposition of tungsten. / Mouroux, A; Palmans, R; Keinonen, J; Zhang, SL; Maex, K; Petersson, S.

Unknown host publication. toim. / KN Tu; JW Mayer; JM Poate; LJ Chen. 1996. s. 365-370 (MATERIALS RESEARCH SOCIETY CONFERENCE PROCEEDINGS; Vuosikerta 427).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussa › Konferenssiartikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

TY - GEN

T1 - Impact of rapid thermal annealing of Ti/TiN bilayers on subsequent chemical vapor deposition of tungsten

AU - Mouroux, A

AU - Palmans, R

AU - Keinonen, J

AU - Zhang, SL

AU - Maex, K

AU - Petersson, S

N1 - Volume: Proceeding volume:

PY - 1996

Y1 - 1996

M3 - Conference contribution

T3 - MATERIALS RESEARCH SOCIETY CONFERENCE PROCEEDINGS

SP - 365

EP - 370

BT - Unknown host publication

A2 - Tu, KN

A2 - Mayer, JW

A2 - Poate, JM

A2 - Chen, LJ

ER -