In Situ Reaction Mechanism Studies on Lithium Hexadimethyldisilazide and Ozone Atomic Layer Deposition Process for Lithium Silicate

Yoann Tomczak, Kjell Knapas, Markku Sundberg, Markku Leskelä, Mikko Ritala

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
LehtiJournal of Physical Chemistry C
Vuosikerta117
Numero27
Sivut14241-14246
Sivumäärä6
ISSN1932-7447
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 11 heinäkuuta 2013
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia

Siteeraa tätä