In situ reaction mechanism studies on the Ti(NMe2)(2)((OPr)-Pr-i)(2)-D2O and Ti((OPr)-Pr-i)(3)[MeC((NPr)-Pr-i)(2)]-D2O atomic layer deposition processes

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli01A121
LehtiJournal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Vuosikerta32
Numero1
Sivumäärä7
ISSN0734-2101
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - tammikuuta 2014
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia
  • 114 Fysiikka

Siteeraa tätä