In Situ Studies on Reaction Mechanisms in Atomic Layer Deposition

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
LehtiCritical Reviews in Solid State & Materials Sciences
Vuosikerta38
Numero3
Sivut167-202
Sivumäärä36
ISSN1040-8436
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 1 tammikuuta 2013
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia
  • 114 Fysiikka

Siteeraa tätä