Industrial applications of atomic layer deposition

Mikko Ritala, Jaakko Niinistö

    Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

    Alkuperäiskielienglanti
    LehtiECS transactions
    Vuosikerta25
    Numero8
    Sivut641-652
    Sivumäärä12
    ISSN1938-5862
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

    Siteeraa tätä