Infrared Scanning White Light Interferometry Using a Solid State Light Source

Ville Heikkinen, Juha Pekka Aaltonen, Ben Wälchli, Heikki Räikkönen, Ivan Vladislavov Kassamakov, Tania Cholakova, Kestutis Grigoras, Sami Franssila, Roumen Kakanakov, Edward Haeggström

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/raportissa/konferenssijulkaisussaKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Abstrakti

Scanning White Light Interferometry (SWLI) allows surface characterization of MEMS components. With transparent samples SWLI can image multiple stacked layers. However, since silicon is opaque to visible wavelengths, only the top layer can be measured using visible light. We combined multiple infrared light emitting diodes (IR-LEDs) to achieve adjustable IR illumination. This allows simultaneous measurement of top and bottom surface topographies of silicon samples - such as MEMS membranes- using a SWLI equipped with an IR camera. This advances the state of the art of the field of MEMS characterization by allowing looking under membranes of these devices during operation.
Alkuperäiskielienglanti
OtsikkoReliability, Packaging, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS and Nanodevices
Sivumäärä9
Vuosikerta7928
JulkaisupaikkaSan Francisco
KustantajaSPIE
Julkaisupäivä25 helmikuuta 2011
Sivut792809-1 - 792809-9
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 25 helmikuuta 2011
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa
TapahtumaReliability, Packaging, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS and Nanodevices X - San Francisco, Yhdysvallat (USA)
Kesto: 24 tammikuuta 201124 tammikuuta 2011
Konferenssinumero: 10

Julkaisusarja

NimiProceedings of SPIE
KustantajaSPIE
Vuosikerta7928

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka

Siteeraa tätä

Heikkinen, V., Aaltonen, J. P., Wälchli, B., Räikkönen, H., Kassamakov, I. V., Cholakova, T., ... Haeggström, E. (2011). Infrared Scanning White Light Interferometry Using a Solid State Light Source. teoksessa Reliability, Packaging, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS and Nanodevices (Vuosikerta 7928, Sivut 792809-1 - 792809-9). (Proceedings of SPIE; Vuosikerta 7928). San Francisco: SPIE. https://doi.org/10.1117/12.874966