Processing of AC-coupled n-in-p pixel detectors on MCz silicon using atomic layer deposited aluminium oxide

J. Ott, A. Gadda, S. Bharthuar, E. Brucken, M. Golovleva, J. Härkonen, M. Kalliokoski, A. Karadzhinova-Ferrer, S. Kirschenmann, V. Litichevskyi, P. Luukka, L. Martikainen, T. Naaranoja

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkelivertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli162547
LehtiNuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors, and Associated Equipment
Vuosikerta958
Sivumäärä6
ISSN0168-9002
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 1 huhtikuuta 2020
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu
Tapahtuma15th Vienna Conference on Instrumentation (VCI) - Vienna, Itävalta
Kesto: 18 helmikuuta 201922 helmikuuta 2019

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka

Siteeraa tätä