Pushing the limits of plasma ALD conformality

Matti Putkonen, M. Kariniemi, J. Niinistö, M. Vehkamäki, M. Kemell, M. Ritala, M. Leskelä, E.J. Karwacki, I. Buchanan

Tutkimustuotos: Kirja/raportti › Tutkimusraportti

Alkuperäiskieli	englanti

Tila	Julkaistu - 2011
Julkaistu ulkoisesti	Kyllä
OKM-julkaisutyyppi	D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

HelsinkiALD
Putkonen, M. (Johtaja), Ritala, M. (Johtaja), Mäntymäki, M. (Operaattori), Kemell, M. (Operaattori), Vehkamäki, M. (Operaattori) & Heikkilä, M. (Operaattori)
Kemian osasto
Laitteistot/tilat: Tutkimuslaboratorio

Laitteet