Quasidynamic calibration of stroboscopic scanning white light interferometer with a transfer standard

Jeremias Seppa, Ivan Kassamakov, Ville Heikkinen, Anton Nolvi, Tor Paulin, Antti Lassila, Edward Haeggstrom

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli124104
LehtiOptical Engineering
Vuosikerta52
Numero12
Sivumäärä6
ISSN0091-3286
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - joulukuuta 2013
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka

Lainaa tätä

@article{bbd75894744f4f3399769b992610bb1b,
title = "Quasidynamic calibration of stroboscopic scanning white light interferometer with a transfer standard",
keywords = "stroboscopic, scanning white light interferometry, MEMS, nanoelectromechanical systems, calibration, PHASE-CHANGE, SUPERCONTINUUM, TRACEABILITY, REFLECTION, MIKES, 114 Physical sciences",
author = "Jeremias Seppa and Ivan Kassamakov and Ville Heikkinen and Anton Nolvi and Tor Paulin and Antti Lassila and Edward Haeggstrom",
year = "2013",
month = "12",
doi = "10.1117/1.OE.52.12.124104",
language = "English",
volume = "52",
journal = "Optical Engineering",
issn = "0091-3286",
publisher = "SPIE-SOC PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS",
number = "12",

}

Quasidynamic calibration of stroboscopic scanning white light interferometer with a transfer standard. / Seppa, Jeremias; Kassamakov, Ivan; Heikkinen, Ville; Nolvi, Anton; Paulin, Tor; Lassila, Antti; Haeggstrom, Edward.

julkaisussa: Optical Engineering, Vuosikerta 52, Nro 12, 124104, 12.2013.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

TY - JOUR

T1 - Quasidynamic calibration of stroboscopic scanning white light interferometer with a transfer standard

AU - Seppa, Jeremias

AU - Kassamakov, Ivan

AU - Heikkinen, Ville

AU - Nolvi, Anton

AU - Paulin, Tor

AU - Lassila, Antti

AU - Haeggstrom, Edward

PY - 2013/12

Y1 - 2013/12

KW - stroboscopic

KW - scanning white light interferometry

KW - MEMS

KW - nanoelectromechanical systems

KW - calibration

KW - PHASE-CHANGE

KW - SUPERCONTINUUM

KW - TRACEABILITY

KW - REFLECTION

KW - MIKES

KW - 114 Physical sciences

U2 - 10.1117/1.OE.52.12.124104

DO - 10.1117/1.OE.52.12.124104

M3 - Article

VL - 52

JO - Optical Engineering

JF - Optical Engineering

SN - 0091-3286

IS - 12

M1 - 124104

ER -