Rapid coating of through-porous substrates by atomic layer deposition

Mikko Ritala, Marianna Kemell, Markus Lautala, Antti Niskanen, Markku Leskelä, Sven Lindfors

    Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

    Alkuperäiskielienglanti
    LehtiChemical Vapor Deposition
    Vuosikerta12
    Numero11
    Sivut655-658
    Sivumäärä4
    ISSN0948-1907
    TilaJulkaistu - 2006
    OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

    Tieteenalat

    • 116 Kemia

    Siteeraa tätä