Reaction Mechanism Studies on ZrO2 Grown by ALD - A Comparison Between ZrCl4 and Cp2ZrMe2 Based Processes

A Rahtu, Jaakko Niinistö, Matti Putkonen, Lauri Niinistö, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Tutkimustuotos: Kirja/raportti › Tutkimusraportti

Alkuperäiskieli	englanti

Tila	Julkaistu - 2004
Julkaistu ulkoisesti	Kyllä
OKM-julkaisutyyppi	D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

HelsinkiALD
Putkonen, M. (Johtaja), Ritala, M. (Johtaja), Mäntymäki, M. (Operaattori), Kemell, M. (Operaattori), Vehkamäki, M. (Operaattori) & Heikkilä, M. (Operaattori)
Kemian osasto
Laitteistot/tilat: Tutkimuslaboratorio

Siteeraa tätä

TY - BOOK

T1 - Reaction Mechanism Studies on ZrO2 Grown by ALD - A Comparison Between ZrCl4 and Cp2ZrMe2 Based Processes

AU - Rahtu, A

AU - Niinistö, Jaakko

AU - Putkonen, Matti

AU - Niinistö, Lauri

AU - Ritala, Mikko

AU - Leskelä, Markku

PY - 2004

Y1 - 2004

M3 - Commissioned report

BT - Reaction Mechanism Studies on ZrO2 Grown by ALD - A Comparison Between ZrCl4 and Cp2ZrMe2 Based Processes

ER -