Silicon oxide-niobium oxide mixture films and nanolaminates grown by atomic layer deposition from niobium pentaethoxide and hexakis(ethylamino) disilane

Kaupo Kukli, Marianna Kemell, Mikko J. Heikkilä, Helena Castan, Salvador Duenas, Kenichiro Mizohata, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli195713
LehtiNanotechnology
Vuosikerta31
Numero19
Sivumäärä10
ISSN0957-4484
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 8 toukokuuta 2020
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia
  • 221 Nanoteknologia

Siteeraa tätä