Structure and Morphology of Ru Films Grown by Atomic Layer Deposition from 1-ethyl-1’-methyl-ruthenocene

Kaupo Kukli, Jaan Aarik, Aleks Aidla, Teet Uustare, Indrek Jõgi, Jun Lu, Massimo Tallarida, Marianna Kemell, Alma-Asta Kiisler, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
LehtiJournal of Crystal Growth
Vuosikerta312
Numero12-13
Sivut2025-2032
Sivumäärä8
ISSN0022-0248
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia

Siteeraa tätä