Studies on solid state reactions of atomic layer deposited thin films of lithium carbonate with hafnia and zirconia

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli020929
LehtiJournal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Vuosikerta37
Numero2
Sivumäärä8
ISSN0734-2101
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - maaliskuuta 2019
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka
  • 116 Kemia

Siteeraa tätä