Sub-kHz traceable characterization of stroboscopic scanning white light interferometer

V. Heikkinen, I. Kassamakov, T. Paulin, Anton Nolvi, J. Seppa, A. Lassila, E. Haeggstrom

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
Artikkeli913218
LehtiProceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering
Vuosikerta9132
Sivumäärä9
ISSN0277-786X
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa
TapahtumaOptical Micro- and Nanometrology - Brussels, Belgia
Kesto: 14 huhtikuuta 2014 → …
Konferenssinumero: V

Tieteenalat

  • 114 Fysiikka

Lainaa tätä

@article{01369d425eed4795a6ccd7b2fae3f91c,
title = "Sub-kHz traceable characterization of stroboscopic scanning white light interferometer",
keywords = "SSWLI, traceability, MEMS, NEMS, ENVELOPE DETECTION, MIKES, 114 Physical sciences",
author = "V. Heikkinen and I. Kassamakov and T. Paulin and Anton Nolvi and J. Seppa and A. Lassila and E. Haeggstrom",
note = "Volume: 9132 Proceeding volume:",
year = "2014",
doi = "10.1117/12.2051622",
language = "English",
volume = "9132",
journal = "Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering",
issn = "0277-786X",
publisher = "SPIE, The International Society for Optical Engineering",

}

Sub-kHz traceable characterization of stroboscopic scanning white light interferometer. / Heikkinen, V.; Kassamakov, I.; Paulin, T.; Nolvi, Anton; Seppa, J.; Lassila, A.; Haeggstrom, E.

julkaisussa: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Vuosikerta 9132, 913218 , 2014.

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuKonferenssiartikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

TY - JOUR

T1 - Sub-kHz traceable characterization of stroboscopic scanning white light interferometer

AU - Heikkinen, V.

AU - Kassamakov, I.

AU - Paulin, T.

AU - Nolvi, Anton

AU - Seppa, J.

AU - Lassila, A.

AU - Haeggstrom, E.

N1 - Volume: 9132 Proceeding volume:

PY - 2014

Y1 - 2014

KW - SSWLI

KW - traceability

KW - MEMS

KW - NEMS

KW - ENVELOPE DETECTION

KW - MIKES

KW - 114 Physical sciences

U2 - 10.1117/12.2051622

DO - 10.1117/12.2051622

M3 - Conference article

VL - 9132

JO - Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering

JF - Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering

SN - 0277-786X

M1 - 913218

ER -