Ta₂O₅- and TiO₂-based nanostructures made by atomic layer deposition

Marianna Kemell, Emma Härkönen, Viljami Pore, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Alkuperäiskielienglanti
LehtiNanotechnology
Vuosikerta21
Numero3
Sivutart. 035301
ISSN0957-4484
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Tieteenalat

  • 116 Kemia

Siteeraa tätä